一、直流脉冲产品套件

 

AE 的脉冲产品系列具有各种功能，能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点，能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。

 

二、ASCENT AP（脉冲）电源

 

2013年，AE 通过采用双极性脉冲直流技术为双极磁控溅射带来了新的技术革新，提供了前所未有的等离子体控制技术。Ascent AP电源在紧凑的单/双极磁控溅射方案中引入了额外的控制参数，使得功率输出更加优化。Ascent AP具有的脉冲技术，可以主动抑制电弧，其广泛的工作范围使得该电源可以应用于许多材料，拓展了制程的灵活性以及材料的不断创新。

 

三、拥有Arc Management System 技术的 Ascent 直流电源

 

强大的 Ascent 直流电源专门用于易产生电弧的工艺制程，它可以提供稳定功率，以获得可重复的高质量薄膜。严格的质量控制过程确保可达到可靠性。Effective Arc Management System 功能可以熄灭电弧，防止不必要的薄膜损坏或制程中断。同时 Set Point Compensation 技术可以平衡设定点与溅射率，即使在电弧非常频繁的情况下也能做到这一点。Ascent 电源配备了多种用户界面和虚拟前面板软件，易于设置和操作。您可以选择主/从装置，或利用 Arc-Sync 技术以多个相邻的阴极调节电源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 电源获得稳定、可重复的电源。

 

四、Pinnacle 系列

 

业界公认的 Pinnacle 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界的存储能量、*快的弧反应以及*广的全功率运行阻抗范围。

 

五、Pinnacle Plus+

 

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。