标题微型仪器技术的介绍

　　微型仪器技术的介绍

　　微型智能仪器将在21世纪仪器发展中占有重要的地位，各种微型智能仪器都将发挥重要的作用。微型智能仪器可把不同的微型机械电子系统（MEMS）组装在一起。它既有固定部件，又有活动部件，并向微芯片的集成化方向发展;既可以是专用仪器，又可以是通用仪器;可以是分系统的组合，也可是单独的系统。可进行模块化的组合，根据不同的用途完成不同的使用要求。微型智能仪器有着极其广阔的应用前景，是MEMS技术发展的重要方向之一。

　　纳米测量技术指尺度为0.01 nm～100 nm的测量技术。在纳米技术中，纳米测量技术、纳米加工技术和纳米结构并列为纳米技术的三大研究主题。纳米测量技术的研究是纳米技术研究的重要组成部分。

　　1　纳米测量技术

　　纳米测量技术涉及传感器技术、探针技术、定位技术、扫描探针显微镜（SPM）技术等。

　　2　传感器技术

　　无论何种纳米测量技术都必须依靠传感器。目前进行纳米测量的传感器主要分为电感传感器、电容传感器、光干涉传感器三类。

　　在高精度测量中，电感传感器应用最广。一般电感传感器有线性差动变压器（LVDT）和线性差动电感器（LVDI），两种形式，它们都是当铁磁线圈的位置变化引起磁场的变化，通过测量磁场变化达到测量位移的目的。

　　电容位移传感器采用平行极板之间的电容变化来反映两极板距离变化，从而达到测微目的。电容传感器灵敏度很高，并可进行非接触测量，成为纳米测量中重要的传感器。

　　光学位移传感器测量的基本原理都是迈克尔逊干涉仪。干涉条纹的宽度为0.5，约0.2m。通过细分达到纳米分辨率。